回收三级罗茨机组由哪些部分组成，罗茨真空泵：这是机组的核心部分，负责产生真空。罗茨真空泵的工作原理是通过旋转的转子与固定壳体之间的间隙来吸入气体，并将气体压缩和排放。

进气口和排气口：进气口和排气口是机组与外部环境进行气体交换的通道。进气口通常连接着被抽吸气体的源，排气口则将经过压缩和排出的气体排出。

控制系统：控制系统负责控制机组的运行。它可以根据需要自动调节进气口和排气口的开度和流量，以及各部分的运行状态。

润滑系统：润滑系统负责为机组的各部分提供润滑，以减少摩擦和磨损。

冷却系统：冷却系统负责将机组运行时产生的热量带走，以保持机组的正常运行温度。

防震和防噪音系统：该系统可以减少机组运行时的震动和噪音，提高机组的稳定性和可靠性。

保护系统：保护系统可以防止机组过载、过热等异常情况，保证机组的正常运行。